研究者

石田Ishida 行章Yukiaki

• 役職：特任講師
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キーワード

• 半導体リソグラフィー材料、EUV極紫外光、高次高調波

研究紹介

• 極紫外（EUV）域における半導体リソグラフィー材料の光学特性の高効率精密測定

主要論文

1. Renormalizing the high-harmonic interference via double-slit and grating
   Yukiaki Ishida and Makoto Kuwata-Gonokami
   Applied Optics 63, 4278 (2024)