半導体露光装置(ステッパー)のみを用いた可視光フレネルゾーンプレートの作製手法に関する論文が、Light: Science Applications に掲載されました。JSR社との共同研究の成果です。
Optical Fresnel zone plate flat lenses made entirely of colored photoresist through an i-line stepper
Ryohei Yamada, Hiroyuki Kishida, Tomohiro Takami, Itti Rittaporn, Mizuho Matoba, Haruyuki Sakurai, Kuniaki Konishi*(*責任著者)
Light: Science Applications
また、本研究内容に関して、プレスリリースを行いました。(2025/01/16)
